KURATECA EST-L 主動式防震臺來自日本馬自達(dá)集團(tuán)下全資子公司KURATECA，有著超過30年歷史，且在這個領(lǐng)域上有著相當(dāng)豐富的經(jīng)驗。一些靈敏度很高的儀器可能是一個自然諧振頻率的被動系統(tǒng)，只有主動隔振系統(tǒng)才能抵消共振。KURATECA通過在發(fā)展主動防震系統(tǒng)的同時補(bǔ)充了被動系統(tǒng)，主動防震系統(tǒng)可為靈敏的儀器提供各種抵消振動干擾的需求，主動式防震系統(tǒng)（AVI）能夠為科研、工程和生產(chǎn)過程所需要的精密儀器提供一個穩(wěn)定的測量環(huán)境。
KURATECA EST-L 主動式防震臺來自日本馬自達(dá)集團(tuán)下全資子公司KURATECA，有著超過30年歷史，且在這個領(lǐng)域上有著相當(dāng)豐富的經(jīng)驗。一些靈敏度很高的儀器可能是一個自然諧振頻率的被動系統(tǒng)，只有主動隔振系統(tǒng)才能抵消共振。KURATECA通過在發(fā)展主動防震系統(tǒng)的同時補(bǔ)充了被動系統(tǒng)，主動防震系統(tǒng)可為靈敏的儀器提供各種抵消振動干擾的需求，主動式防震系統(tǒng)（AVI）能夠為科研、工程和生產(chǎn)過程所需要的精密儀器提供一個穩(wěn)定的測量環(huán)境。
優(yōu)于被動系統(tǒng)
模塊可擴(kuò)展
不影響精密儀器
無低頻共振
無電磁干擾
尺寸小
震動恢復(fù)時間迅速（<10ms）
不會升溫
低功耗
無需設(shè)置時間
無需校準(zhǔn)
可個性化定制
KURATECA EST-L 主動式防震臺通過傳感器實時監(jiān)測外部振動信號，并將數(shù)據(jù)傳輸至控制器。控制器根據(jù)振動波形生成反向作用力，由執(zhí)行器施加與振動相位相反的力，實現(xiàn)動態(tài)抵消，抑制低頻振動及復(fù)雜環(huán)境干擾。結(jié)合被動隔振與主動控制技術(shù)，被動系統(tǒng)吸收高頻振動能量，主動系統(tǒng)針對低頻振動進(jìn)行準(zhǔn)確補(bǔ)償，實現(xiàn)全頻段隔振。采用6自由度控制，自適應(yīng)調(diào)節(jié)地基振動前饋，抵消多方向振動傳遞。
KURATECA EST-L 主動式防震臺廣泛的應(yīng)用于高負(fù)載顯微鏡和其他受低頻振動噪聲影響的精密型研究儀器。KURATECA EST-L 主動式防震臺比較常見的應(yīng)用是電子顯微鏡，它支持掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡。
光刻設(shè)備 | 光譜測量設(shè)備 | 高精度計量設(shè)備 | TEM |
SEM | 超高真空掃描探針顯微鏡 | EBL | STM |
主動控制范圍： | 0.5Hz–200Hz | 被動控制范圍： | 大于200Hz |
控制器類型： | 數(shù)字顯示控制器 | 系統(tǒng)配置： | 隔振模塊和控制器 |
靜息時間: | 不大于0.3s | 尺寸大?。?/span> | 200*200*176mm |
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