優(yōu)尼康：膜厚測(cè)量技術(shù)在微電子化工品行業(yè)的應(yīng)用
2023-06-12 09:44:22
李揚(yáng)
優(yōu)尼康：膜厚測(cè)量技術(shù)在微電子化工品行業(yè)的應(yīng)用
2017年12月，我司（優(yōu)尼康科技有限公司）工程師在上海一家研究、生產(chǎn)、銷售制造中使用的材料和特種化學(xué)品的專業(yè)公司進(jìn)行裝機(jī)服務(wù)。
該公司的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于IC、OLED、TFT-LCD及PCB等諸多電子制造領(lǐng)域。始終致力于制造材料行業(yè)的創(chuàng)新與突破，為制造提供優(yōu)質(zhì)配套材料。
前期經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的溝通以及測(cè)試，選擇了美國(guó)Filmetrics的F50 這款機(jī)器，幫助企業(yè)解決光刻膠厚度測(cè)量的問(wèn)題，光刻膠的厚度測(cè)量幫助企業(yè)改進(jìn)工藝，把關(guān)質(zhì)量，減少損耗。
為什么選擇Filmetrics的F50？
依靠F50光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？欤蠹s每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái)，能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。